Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS Q0
- 期刊收录:
- Scopus
- 期刊ISSN:
1932-5150
- 期刊简拼:
J MICRO-NANOLITH MEM
- 年发文章数:
0
- E-ISSN:
1932-5134
- Gold OA文章占比
7.69%
- 研究文章占比:
0.00%
- 是否OA:
No
- Jcr分区:
Q0
- 中科院分区:
2区
- 出版商:
SPIE
- 涉及研究方向:
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
- 出版国家:
UNITED STATES
- 出版语言:
English
- 出版周期:
Quarterly
- 出版年份:
2007
- 2023-2024最新影响因子:0
- 自引率:N.A.
- 五年影响因子:0
- JCI期刊引文指标:0
- h-index:37
- CiteScore:3.40
期刊简介
The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes peer-reviewed papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary to address the needs of the electronics, microelectromechanical systems, micro-optoelectromechanical systems, and photonics industries.
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期刊信息
- PubMed Central (PMC)链接
- http://www.ncbi.nlm.nih.gov/nlmcatalog?term=1932-5150%5BISSN%5D
- 通讯地址
- SPIE-SOC PHOTOPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS, 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, USA, WA, 98225
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-
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- 审稿速度
- 收录数据库
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- 研究方向
- 较慢,6-12周
- Scopus
- No
- ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
分区信息
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- 物理与天体物理
- 2区
- ENGINEERING
ELECTRICAL & ELECTRONIC
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NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
纳米科技
OPTICS
光学 - 否
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